汉钟精机:半导体真空泵不局限于特定纳米制程节点:真空泵

证券之星消息,汉钟精机(002158)09月01日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题真空泵

投资者提问:董秘您好真空泵 ,请问我司半导体真空泵可适配多少纳米制程?公司设备是否通过 SEMI 认证?

汉钟精机回复:你好,半导体真空泵的核心功能是为半导体制造设备提供关键的真空环境,不局限于特定纳米制程节点,而是在各种制程工艺要求下,确保在规定时间内达到制程所需要的真空度真空泵 。关于认证方面,公司半导体真空泵2017年就已通过SEMI认证。感谢您的关注。

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