中科九微申请真空泵组等专利,提高真空泵组抽真空效率:真空泵

金融界 2025 年 5 月 19 日消息,国家知识产权局信息显示,中科九微科技股份有限公司申请一项名为“真空泵组、真空工作系统及真空抽取方法”的专利,公开号 CN120007555A,申请日期为 2025 年 4 月真空泵

专利摘要显示,本申请提供了一种真空泵组、真空工作系统及真空抽取方法,该真空泵组包括第一增压级真空泵、第一主级真空泵、第一气路、第二气路以及排气管路;第一增压级真空泵的抽气端用于与目标腔室连通;第一增压级真空泵的排气端通过第一气路与第一主级真空泵的抽气端连通;第一主级真空泵的排气端与排气管路连通;第二气路的第一端与第一气路连通,第二气路的第二端与排气管路连通真空泵 。该真空泵组通过将第一增压级真空泵排除的一部分气体越过第一主级真空泵,直接排向排气管路,从而提高了第一增压级真空泵的抽气速率,最终提高了真空泵组的抽真空效率。

天眼查资料显示,中科九微科技股份有限公司,成立于2018年,位于南充市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业真空泵 。企业注册资本22465.7267万人民币。通过天眼查大数据分析,中科九微科技股份有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目31次,财产线索方面有商标信息12条,专利信息127条,此外企业还拥有行政许可36个。

来源:金融界

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